Patents

International Patents

[1] 이상명, 윤일구, "OES 장치와 이를 포함하는 플라즈마 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법", 01. 28. 2016. USA.

[2] 이상명, 윤일구, "OES 장치와 이를 포함하는 플라즈마 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법", 01. 28. 2016. CHINA.

[3] 김인중, 윤일구, "플라즈마 공정 광학 진단 기술의 렌즈 엣지 활용을 통한 국소 측정 방법", 08. 10. 2016. USA.

[4] 김인중, 윤일구, "플라즈마 공정 광학 진단 기술의 수광부 경통 삽입을 통한 국소 측정 방법", 08. 01. 2017. USA.

[5] 김인중, 윤일구, "플라즈마 공정 광학 진단 기술의 회전 모듈 활용을 통한 실시간 균일도 측정 방법", 12. 15. 2017. USA.

[6] 이상명, 윤일구, "광학 분광 분석 장치", 01. 29. 2019, CHINA.

[7] 이상명, 윤일구, "광학 분광 분석 장치", 09. 10. 2019, USA.

[8] 윤일구, "플라즈마 공정 모니터링 장치 및 이를 포함하는 플라즈마 처리장치", 12. 28. 2021. CHINA. 

[9]윤일구, "OES 장치와 이를 포함하는 플라즈마 처리장치, 및 반도체 장치의 제조 방법",  USA, 01.02.2024

Domestic Patents

[1] 김창은, 문평, 고영돈, 윤일구, "주성분분석의 특성인자를 이용한 박막 증착 공정의 신경망 모델링 방법", 11. 27. 2008.

[2] 이태윤, 윤일구, 이용언, 김창은, "금속 배선을 이용하여 자기정렬된 패턴 구조를 갖는 반도체 소자의 제조 방법", 03. 03. 2009.

[3] 김창은, 윤일구, "Channel modulation을 통한 산화물 반도체 박막형 트랜지스터의 제작", 12. 26. 2011.

[4] 문평, 윤일구, "메모리 프로그래밍 방법 및 메모리 프로그래밍 장치", 03. 27. 2014.

[5] 김인중, 윤일구, "플라즈마 공정 광학 진단 기술의 수광부 경통 삽입을 통한 국소 측정 방법", 04. 07. 2015.

[6] 김인중, 윤일구, "플라즈마 공정 광학 진단 기술의 렌즈 엣지 활용을 통한 국소 영역 측정 방법", 09. 08. 2015.

[7] 이상명, 윤일구, "OES 장치와 이를 포함하는 플라즈마 처리 장치 및 반도체 장치의 제조 방법", 02. 29. 2016.

[8] 신동석, 윤일구, 최현용, 인치훈, 김재석, "테라헤르츠파를 이용한 투명 박막의 두께를 측정하는 장치 및 그 측정 방법", 03. 17. 2016.

[9] 이상명, 윤일구, "크랙 가이딩 구조체를 갖는 박막 트랜지스터", 09. 20. 2016.

[10] 김인중, 윤일구, "플라즈마 공정 광학 진단 기술의 회전 모듈 활용을 통한 실시간 균일도 측정 방법", 02. 09. 2018.

[11] 이상명, 윤일구, "광학 분광 분석 장치 및 이를 구비한 플라즈마 처리 장치", 09.28.2020.

[12] 이상명, 윤일구, "폴딩 가능한 어레이 기판 및 표시장치", 07.23.2021.

[13] 김인중, 윤일구, "OES 장치와 이를 포함하는 플라즈마 처리장치, 및 반도체 장치의 제조 방법", 05.04.2022

[13] 김재훈, 윤일구, "광학 소자 및 표시 장치", 10.25.2022.